平行平晶是以光波干涉原理為基礎(chǔ),利用平晶的測(cè)量面與試件的被測(cè)量面之間所出現(xiàn)的干涉條紋來測(cè)量被測(cè)量面的誤差程度。
平行平晶具有高精度的平面性和平行性。
平行平晶用于檢定千分尺、杠桿千分尺、杠桿卡規(guī)和千分尺卡規(guī)等量具測(cè)量面的平面度和兩相對(duì)測(cè)量的平行度。平行平晶共分四個(gè)系列,每個(gè)系列各分六組,每組四塊。
組別 | 兩工作面的平行度 | 工作面的平面度 | 2/3d范圍內(nèi)的平面度 |
I、II | 0.6 | 0.1 | 0.05 |
III | 0.8 | 0.1 | 0.05 |
IV | 1.0 | 0.1 | 0.05 |